鋁合金退火爐的兩種熱源的介紹以及選擇
發(fā)布時間:2019/2/26 15:24:48 來源:www.fjhhxh.cn 作者:丹陽市電爐廠有限公司
摘要:在我們使用鋁合金退火爐的過程中,對其熱源的了解以及正確的選擇是必不可少的,那么具體如何選擇鋁合金退火爐的熱源呢?下面我們丹陽電爐廠為您整理相關(guān)說明。
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鋁合金退火爐的熱源之一:燈光加熱
這樣的加熱方式是由上下兩個專用的燈管組或者是單面燈泡構(gòu)成加熱源,加熱燈形狀以及數(shù)目因廠家和被處理的工件尺寸而定,硅片位于雙面加熱燈中間或者是單面燈的下方進(jìn)行快速加熱。因為這樣的裝置是線狀或者是點(diǎn)狀光源構(gòu)成的面光源,為了達(dá)到均勻的加熱效果,對每個燈管的一致性要求很高。
鋁合金退火爐的熱源之二:高頻感應(yīng)加熱
在石英腔體外纏繞線圈,在石英腔體里面放置平行的石墨加熱板。當(dāng)向線圈里面通入高頻電壓的時候,在線圈的周邊就會產(chǎn)品高頻的電磁場,而位于高頻交變電磁場里面的石墨板受到感應(yīng)后發(fā)熱就會成為熱源,由此對腔體里面的硅片進(jìn)行熱處理退火?偟膩碚f,這種方式雖然制作以及維護(hù)成本比較低,但是因為石墨板在感應(yīng)時候的熱遲滯性,以及停止加熱時候的熱慣性,會讓溫度控制響應(yīng)速度變慢,溫度控制精度在技術(shù)上面很難得到保證,并且高頻電磁輻射如果控制不當(dāng)?shù)脑,會很容易對周圍的環(huán)境造成電磁污染。
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